ion-beam etching


ion-beam etching
jonpluoštis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion-beam etching; ion-beam milling vok. Ionenstrahlätzen, n rus. ионно-лучевое травление, n; ионно-пучковое травление, n pranc. décapage par faisceau ionique, m

Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. . 2000.